气体放电等离子体对电容器膜表面改性的研究

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高储能密度电容器无论在国防还是在民用领域都有巨大的应用前景。有机薄膜电容器由于工作电压高、介损角小、频率特性好、体积小,广泛应用于高功率脉冲和电力系统中。提高膜电容器储能密度最有效途径是提高绝缘介质的电气强度。在强电场作用下,主要由电极注入的空间电荷的作用,加速了电容器绝缘的老化和击穿。提高电容器工作场强的一条可能的途径是阻挡电子从电极注入绝缘介质。本文提出采用非平衡等离子体技术处理有机膜表面,产生均匀的大分子量的极性基团,从而在膜表面形成高介电常数的覆盖层,阻挡电荷从电极注入到介质中,减
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