随着氧化物功能薄膜在许多领域得到广泛应用，薄膜制备技术也得到了很大的发展。目前薄膜制备方法大致可分为物理制膜法和化学制膜法。在化学制膜法中，湿化学法因能量消耗低，环境影响小，而在如今环境和能源成为世界瞩目的问题之时倍受欢迎，被称为soft-process（柔性过程）。 近年来，在湿化学方法中发展起一种新的方法—液相沉积法（Liquid Phase Deposition简称LPD），1988年首次由Nagayama报道。该法最初用来制备SiO₂薄膜，以后得以发展，用来制备其他薄膜。用此法只需在适当的反应液中浸入基片，在基片上便会沉积出均匀致密的氧化物或氢氧化物薄膜。成膜过程不需热处理，不需昂贵的设备，操作简单。 鉴于有关对利用LPD法沉积TiO₂薄膜的系统研究未见报道，但该方法在产业化和商业化方面存在的巨大潜力，因此我们开展了液相沉积制备TiO₂薄膜的研究。 本文研究在水的沸点以下，将基片浸渍在含有络合物离子[TiF₆]^2-和F^-离子俘获剂H₃BO₃的溶液中，在基片上沉积出非晶和锐钛矿相TiO₂薄膜。我们首次系统讨论了[TiF₆]^2-的浓度、反应物中Ti元素和B元素的摩尔比、沉积时间、反应温度以及热处理温度对沉积薄膜的结构和性能的影响，讨论了薄膜和反应沉淀物（TiO₂）的光诱导超亲水性和光催化性。使用UV-Vis、XRD和SEM等手段对薄膜和粉末进行了表征。研究结果表明： （1）氟钛酸铵（（NH₄）₂TiF₆）浓度在0.05～0.2mol／l范围内，可以沉积透明性薄膜；当其浓度低于0.01mol／l时不能沉积出薄膜。 （2）氟钛酸铵（（NH₄）₂TiF₆）与硼酸（H₃BO₃）的摩尔浓度比为1：2～6时可以制得透明性薄膜。 （3）沉积透明性薄膜的温度范围为15～90℃。当温度低于10℃时无法沉积出薄膜。 （4）薄膜的厚度取决于[TiF_6-n（OH）_n]^2-基团的相互聚合程度；由于该聚合作用在玻璃基片上带有一定的方向性，所以薄膜的结晶昆明理工大学硕士论文摘耍具有一定的取向性. （5）制得的TIOZ薄膜无论热处理与否，均具有一定的光诱导超亲水性和光催化性。