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柔性衬底上非晶硅薄膜太阳电池的研究是当前光伏学领域中最活跃的研究课题之一。与玻璃衬底相比，柔性衬底太阳电池具有很多优点，比如：质轻、可卷曲、不怕碰撞、高重量比功率和面积比功率、价格便宜。因此柔性衬底太阳电池无论在军事上，还是民用上都有很广阔的应用前景。 本文主要是对柔性衬底上太阳电池的材料进行了研究。我们在原有玻璃衬底的PECVD工艺基础上，对设备进行改进，使其适合于柔性衬底上的薄膜淀积；并且我们作了大量的实验，探索柔性衬底上淀积薄膜材料的工艺参数。最后我们在柔性衬底上制