芯片制造的实时自动派工的研究

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clijunhan
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着半导体产业的飞速发展,半导体代工企业的竞争也日趋激烈,美国,日本,韩国的代工企业也逐渐意识到竞争的关键不仅仅局限于先进的工艺技术,稳定的良率。生产周期的重要性也日益凸显。在这样的环境下,先进的生产管理方法的重要性愈加突出,本文旨在对半导体代工企业提升其管理方法,改善生产周期的方法上做研究,特别针对复杂半导体加工设备前各种条件限定下的派工方法做了细致的讨论。在半导体派工策略上,本文主张着眼于产品堆积的瓶颈设备上,首先讨论典型的半导体代工设备的作业方法,针对如何提升设备作业效率上做了详细的探讨,对于不同的设备的限定条件。我们考虑各种产品的不同组合,作业顺序来提升设备的作业效率。研究集中在典型的半导体生产设备,包括对薄膜成长设备,高温炉管设备,光刻设备的派工规则进行了详细的讨论。首先讨论了薄膜成长设备PCO(Plasma CVD Oxide)的pilot作业时间有效期和产品作业的关系,计算出每台PCO设备pilot可以生产最多产品条件和次数。通过降低pilot次数提高PCO的生产时间,减少了产品在PCO前排队等待的时间。经过产品测试,每个产品等待时间从4.5小时降低到4.2小时,降低了7%以上。随后讨论了低温氮化膜炉管设备LPN(Low Pressure Nitrides)的组批生产的条件搭配优化模型,根据历史仿真数据建立预测来料模型,安排炉管组批生产,增加组批产品选择数量,从而提高了组批的产品数量,提升LPN每次作业产品的数量,使得填充率提升了11.6%。对光刻机的讨论主要集中在掩膜板交换次数的降低上,同样根据掩膜板给产品分组,根据组中产品的优先次序计算出整个分组的优先次序,光刻设备安排生产时依据每组次序,产品次序作业,可以减少设备交换掩膜板的时间,增加了产品的生产时间,把产品在光刻设备前的等待时间从2013年的平均18.3小时降低到13.6小时。从实时自动派工方法在降低产品生产周期方面得到的实际数据看出比单纯的静态派工模型效果要好,这也是不断鼓舞我们研究派工方法的动力。
其他文献
通过对多光束光轴耦合对准技术、光束光轴和光瞳实时在线检测技术、光束光轴和光瞳位置控制技术的理论分析,建立了能够实现多光束光轴自动准直并具有自动调整和修复能力的智
偏振是光波的基本属性之一。研究不同偏振态的光波在传输过程中的性质,以及研究把不同偏振态的光波高效分离的方法,在光通信、偏振检测与分析、激光调制、偏振成像和投影系统
本文以天津市为研究区,基于问卷调查方法,开展地铁乘客安全素质现状调查分析。研究结果表明,20岁以下,20~40岁年龄段的人群是进行疏散路径教育、列车不可触碰标志灯安全知识教育的
目的探讨医院传染病疫情网络直报的质量管理. 方法通过对非典之后400余例医院传染病疫情网络直报病例的分析,找出影响网络直报工作质量的因素. 结果诊断标准、报告时限和疫源
在电磁兼容技术中,混响室具有以下的突出优点:造价低廉并且场强度高。因此,近年来混响室已经迅速发展成为电磁兼容测试技术中一种不可或缺的测试场地,并且得到了深入的研究。
教育哲学素养是指教师在教育实践中自觉运用哲学辩证思维探讨教育领域诸问题的素质和修养。教师教育哲学素养的生成不仅需要教师正确认识哲学、具备良好的个性和高度的自我发
工业革命以来,英国卖淫的盛行造成性病患者日渐增多,如何防治性病遂引起社会关注。19世纪上半叶,民间团体和教会采用救助妓女、开设性病医院等措施来防治性病。19世纪中后期,
<正>跆拳道运动作为一项源远流长的民族传统体育项目,深受人们的欢迎和喜爱,其练习者众多。在世界范围内,有182个国家6000万余人参与到此项运动中来,在我国,非专业的爱好者达
独立院校是在我国高等教育大众化进程中所产生的一种新型办学模式,以普通高等院校为母体,依靠社会私人投资组建的二级学院。自其创办以来,在我国政府的大力支持下,发展极为迅
近年来,伴随着各种突发性事件的频繁发生,应急物流逐渐引起了人们的关注。应急物流已成为应急管理的重要组成部分。突发性事件的发生通常难以预测,而且一旦爆发,往往会影响到