压电泵是利用压电效应使振子产生弯曲变形，再由变形引起密闭泵腔的容积变化来实现流体传输的一种微型泵，具有结构简单，能耗低，体积小，精度高，无电磁干扰，易集成，易控制等诸多优点，现已广泛应用在生物医学、航空电子设备、机器人视觉、微机电工程、石化设备等各种领域。压电泵的核心部件为压电振子，压电振子通常是在循环的交变电场下连续工作，长时间工作以后，压电振子会出现裂纹萌生和扩展、疲劳断裂甚至是退极化等各种问题，严重时甚至会导致整个压电泵的疲劳失效，这会严重限制压电泵在微机电领域各个方面的广泛应用。同时，随着压电泵产品的实用化，系列化，市场化的不断发展，也急需我们明确压电泵产品的失效形式和疲劳寿命等。本文通过振子疲劳仿真分析、振子疲劳试验和压电泵加速疲劳寿命试验，分析了振子的失效模式并确定出压电泵的疲劳寿命，从而为压电泵的广泛应用打下基础。主要研究内容如下：分析了压电陶瓷的极化处理和制造工艺对其疲劳寿命的影响；分析了压电陶瓷的失效模式，主要包括机械疲劳和电疲劳。机械疲劳主要导致陶瓷的断裂破坏，而电疲劳容易引起陶瓷发生退极化或介电击穿。利用Miner线性疲劳积累损伤理论，通过ANSYS有限元软件对压电振子进行疲劳仿真分析，得到单晶片压电振子的疲劳耗用系数，确定了振子振动时长六个月内的疲劳稳定性。同时研究了不同结构参数对压电振子疲劳寿命的影响，进而对振子进行参数优选。对压电振子实施了疲劳试验，得出了电载荷、振子性能和可循环次数之间的关系，并从可靠性角度，判定其疲劳失效定级试验结果为合格。同时对比了自粘振子与进口振子的疲劳特性。通过继续给振子施加高电压循环疲劳实验，得出部分振子完全破坏的循环振动次数，根据描点法和曲线拟合，绘制出压电振子的疲劳特性曲线。对压电泵实施定数截尾恒加疲劳寿命试验，得到了PSD35型压电泵产品的特征寿命、加速系数、瞬时失效率、平均失效率、平均寿命以及可靠寿命。并求得可靠度为0.95时，PSD35型压电泵在额定电压130V（峰峰值367Vpp）下的可靠寿命为5102小时。同时分析了压电泵疲劳破坏的失效类型。其失效类型主要包括：1.压电振子损坏；2.被动截止阀片的塑性变形；3.密封圈的性能失效；4.流道堵塞。并提出相应的改进措施，主要包括振子的优良选取，工作电压的合理选择，阀片加工工艺的改进，密封圈安装的精确定位以及流体的过滤和净化处理等。