【摘 要】
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焦距5-80m的中长焦距光学透镜和光学系统在天文望远镜、空间光学系统、激光约束核聚变装置等系统中有着十分广泛的应用及前景。本文研究的基于双光栅干涉的中长焦距高精度测量技术是光学测试领域的研究热点之一。首先研究了双光栅干涉光强分布和双光栅衍射成像特性,在此基础上分析了基于双光栅干涉效应的焦距测量原理,根据测量原理和测试过程推导优化了计算公式,减小了入射波面误差和干涉条纹零位误差对焦距测量的影响。设计
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焦距5-80m的中长焦距光学透镜和光学系统在天文望远镜、空间光学系统、激光约束核聚变装置等系统中有着十分广泛的应用及前景。本文研究的基于双光栅干涉的中长焦距高精度测量技术是光学测试领域的研究热点之一。首先研究了双光栅干涉光强分布和双光栅衍射成像特性,在此基础上分析了基于双光栅干涉效应的焦距测量原理,根据测量原理和测试过程推导优化了计算公式,减小了入射波面误差和干涉条纹零位误差对焦距测量的影响。设计了基于准直光源、双光栅干涉仪和成像采集系统的中长焦距测量系统,其焦距测量范围可达5-80m,测量口径Φ1
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