研磨是一种重要的精密和超精密加工方法。它是指利用涂敷或压嵌在磨具上的磨料颗粒，通过磨具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。固着磨料研磨是将散粒的磨料固结起来，制成专用磨具，在研磨机上进行研磨的方法。迄今为止ELID磨削采用的磨具主要采用CBN砂轮或铸铁基结合剂金刚石砂轮，依靠铸铁结合剂材料经过电解在砂轮表面形成氧化膜，使金刚石磨粒露出砂轮表面，起到在线电解修锐的效果。　　 ELID具有效率高，精度高，表面质量好，加工装置简单及加工材料适应性广等优点，尤其对于陶瓷、硬质合金等硬脆材料的高效超精密加工具有独特的优越性。这种先进的磨削加工技术将成为今后超精密磨削加工的主要发展方向与手段之一。　　 本文提出采用竹炭作为结合剂，并辅以酚醛树脂等材料，研制开发了一种性能优良的环保型ELID专用磨具，即BCB(竹炭结合剂)砂轮磨具，并与ELID超精密加工技术相结合，在分析了ELID磨削原理的基础上，开发出ELID研磨加工系统。ELID研磨的必备装置主要有磨床、电源、研磨盘、电解装置、电解液(研磨液)等五个要素。文中对每个要素进行了详细的介绍。接着研究了BCB砂轮ELID研磨机理、钝化膜的作用机理、BCB砂轮ELID系统加工机理、硬脆材料固着磨料研磨模型以及材料的去除机理。然后对单晶硅片进行研磨加工试验，研究了在不同加工工艺参数条件下的工件去除率和表面粗糙度。接着通过使用ELID技术和不使用ELID技术的加工对比实验，说明了新型BCB砂轮与ELID技术相结合能达到很好的加工效果。最后采用人工神经网络和MATLAB系统仿真，建立了工件表面粗糙度的预测模型，可以为以后ELID研磨加工提供参考。