共焦法测透明材料厚度系统及其数据处理技术的研究

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在目前非接触式测量已经慢慢成为主流技术的趋势下,本文对基于共焦法对透明材料厚度测量技术进行了进一步的研究,提出了一套适合本测量系统的数据采集、处理以及软件编程方案,提高了测量精度与效率,验证了本方案的可行性。本文主要从两个方面对共焦测量系统进行研究。其中包括对原理的研究与软件系统的设计。原理的研究介绍了共焦原理以及厚度计算公式的推导,并且根据要求选择了一套比较合理的硬件设备,包括光源、载物台、光纤、以及光谱仪等。软件系统包括了数据采集部分、处理部分以及上位机界面的展示部分。与原有的软件系统相
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