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随着MEMS技术研究的日益深入，MEMS产品已经逐渐进入消费电子、汽车、通信、生物医疗、航天、国防等各大应用领域，而MEMS的可靠性问题也随之变得越来越突出，已经成为制约MEMS产业进一步发展的重要因素。电学测量技术易于控制，测量方便，广泛应用于MEMS可靠性测量中，并发挥着重要作用。近年来，计算机与电子测量仪器相结合，构成了虚拟仪器测试系统。用户通过友好的图形界面操作计算机，完成对被测量的数据采集、分析、处理、显示、存储等整套测试工作。虚拟仪器技术日益成为重要的测量技术。
本论文主要基于虚拟仪器概念，运用LABVIEW语言编程控制实验流程，构建了实验室MEMS电学测量系统。该系统能够按照实验的要求调用多种测量仪器的控制程序，并应用各种控制方案，对实验数据进行存储，且具备环境可控的功能，从而实现了整个实验过程的自动化。
本文应用以上电学测量系统完成了MEMS疲劳电阻测量实验。采用外加静电激励的方法使梁发生振动，每隔一定的时间测量双端固支梁的电阻。实验中，加载与测试按预定设计交替进行，并且能够自动采集和存储测试数据，保证了整个测试过程的稳定和可靠。
疲劳实验结果表明，我们设计、搭建的MEMS电学测量系统运转正常、性能良好，达到了预定目标；MEMS多晶硅微梁具有良好的抗疲劳性，在正常的工作条件下，经过3.4×109次循环振动，未发现疲劳失效。