现代无线通信技术的飞速发展使得无线电频谱资源比较匮乏,因此对于通信设备有了更为严格的要求。目前,对于易加工、重量轻、体积小、成本低、高品质因数且易于集成的无源滤波器的研究也成为微波技术领域的热点。随着MEMS(微机电系统)技术的快速发展,MEMS谐振器谐振频率、滤波器的运动电阻、功率处理能力等参数已经能够达到无线通信的技术要求。与此同时研究表明耦合谐振器阵列有助于降低运动电阻、提高功率处理能力等。据此,本论文的主要研究内容包括:首先分析了圆盘谐振器阵列的排列方式及耦合梁的分布情况对MEMS阵列耦合谐振器性能的影响,得出谐振器阵列的布局方式并不会影响到谐振频率,而阵列中耦合梁数目会对谐振频率产生线性影响的结论。因此继续仿真分析了阵列耦合圆盘个数对阵列谐振器的影响。结果表明由2个圆盘谐振器构成阵列耦合谐振器时,阵列整体谐振频率相对于单圆盘谐振器会产生一个较大的偏移达231.9ppm,对于圆盘耦合阵列谐振器,耦合圆盘个数越多的情况下,单圆盘谐振器的增加或减少对耦合阵列整体谐振频率的改变程度越小。也就是说对于圆盘耦合阵列谐振器,耦合圆盘个数越多的情况下,单圆盘谐振器的个数变化对耦合阵列整体谐振频率的影响会越小。其次考虑到耦合梁尺寸变化会影响到谐振器阵列结构,导致会对谐振器阵列的谐振频率产生影响,因此仿真分析了耦合梁宽度对阵列谐振频率的影响。结果表明当耦合梁宽度增0.1μm时谐振频率上偏11.6ppm,当耦合梁宽度由1μm增大到3μm时,双圆盘耦合谐振器的谐振频率将会上偏236.8ppm。然后设计了一种谐振频率达99.51 MHz运动电阻仅为1.3kΩ的高频阵列耦合谐振器,并采用更简单的基于硅衬底空腔的微机械加工工艺设计加工,根据MEMS器件的设计流程对工艺流程进行设计、结构版图的设计,验证了在工艺上是可行的。最后研究分析了工艺误差造成的耦合梁倾斜对双圆盘耦合谐振滤波器性能的影响。对耦合梁不同程度倾斜下的耦合谐振滤波器性能参数进行理论分析,并采用有限元仿真软件ANSYS进行仿真。通过理论推导与仿真结果的比较分析,验证了结果的可靠性。结果表明当耦合梁的倾斜角分别为0.1°,0.2°,0.5°时,滤波器中心频率分别下偏10ppm,24ppm,51ppm;对于分数带宽变化,当倾斜角达到0.5°时,分数带宽偏差将达到5.6%。据此本文提出了一种半高型耦合梁双圆盘谐振滤波器,结果表明半高型耦合梁双圆盘谐振滤波器性能稳定性要4×优于常规型双圆盘耦合谐振滤波器。