微磨料水射流加工技术是在传统磨料水射流加工技术的基础上发展起来的一种全新的微加工技术,是一种“软、冷”切割加工方式,具有无热影响区、切口质量好、无火花、无污染、能量集中等独特的优点,主要应用于硬脆性材料的加工及微刻蚀领域。论文在对传统磨料水射流磨料输送技术研究的基础上,针对微磨料水射流系统磨料输送方式存在的不足,提出了基于螺杆泵送原理的微磨料水射流磨料精密输送系统的研究方案。论文详细研究了微磨料水射流磨料精密输送系统的结构、组成、螺杆泵送的原理、螺杆参数的选择原则。建立了磨料流量与螺杆几何参数的关系方程。设计制作了微磨料水射流磨料精密输送系统,系统采用PMAC+L298芯片控制,通过直流伺服电机拖动螺杆旋转供料。该系统解决了传统磨料水射流采用负压空气引入磨料时射流束的能量密度低、连续性差、容易堵塞等问题。论文推导了微磨料水射流磨料精密输送系统的流量方程,应用计算流体动力学仿真软件FLUENT对系统进行了数值仿真。仿真结果表明,螺杆转速对磨料流量的影响最大,转速越高,流量越大;其次影响磨料流量的主要参数有螺槽深度和入口压力,入口压力的影响较小,应用时选取稳定的入口压力即可。通过微磨料水射流铣削实验,验证了微磨料水射流磨料精密输送系统的功能。实验表明,磨料流量是影响铣削工艺的一个重要参数,通过调节螺杆转速可以有效调整磨料流量。微磨料水射流磨料精密输送系统满足设计要求。微磨料水射流磨料精密输送系统具有磨料输送精确稳定、流量可调、系统不堵塞等特点,是一种可靠的磨料精密输送系统,该系统具有较高的实用价值和推广应用前景。