液压系统的故障在很大程度上是由液压油中的颗粒污染物引起的,因此,针对液压油颗粒的检测显得极为重要。本文采用电感检测方法,利用平面电感制成微流体芯片,对配制的液压油颗粒样本进行检测和分析。　　 (1)通过对平面电感与金属颗粒之间的磁特性分析,弄清了铁磁质颗粒与非铁磁质颗粒对线圈电感值影响的机理,从而确定了一些与检测灵敏度密切相关的参数。　　 (2)利用这些相关的参数对芯片中的结构元件进行了设计,并通过探索平面电感器和微流体芯片的制作方法,制作出了微流体检测芯片。　　 (3)利用制作的微流体芯片对铁磁质颗粒进行检测后发现,检测灵敏度随着线圈匝数的增加,线宽、线间距和流道直径的减小而增大。　　 (4)优化设计出检测能力更强的平面电感器,并实现了对70μm左右的铁质颗粒和100μm左右的铜质颗粒的检测,检测精度较以前有了很大的提高。　　 基于微流体芯片的平面电感检测方法,能有效地避免相关因素的影响,提高检测装置的性噪比。不仅大大提高了检测范围和检测精度,同时也能对颗粒属性做出有效检测。微流体技术的合理应用,以及电感的平面化,也将使检测装置向微型化、自动化、集成化与便携化迈进一步。