随着薄膜技术的发展,对薄膜厚度的测量精确度要求越来越高,用光学测量技术测量薄膜的厚度逐渐发展起来。使用复色光作为光源,用光纤接收光谱信号,用相应的设备进行光谱分析,从而测量薄膜厚度的方法,是近年来发展起来的新的测厚技术。这种方法不仅可以在线监控薄膜的厚度,而且可以对已生成薄膜的厚度进行精确测量。本文结合干涉光谱法原理和光纤技术设计了一种光纤光谱传感器膜厚测量仪,它使用CCD摄像头接收光谱信号;用DSP对光谱信号进行处理,从而获得被测薄膜的厚度;文中分析了干涉光谱法测厚的基本原理,使用小波去噪技术对光谱信号进行去噪处理;分析了影响膜厚测量的主要因素,为消除薄膜不均匀对膜厚测量的影响,对膜厚均匀性预先进行了检测;对SiO 2薄膜进行了测厚实验,验证了该测厚仪的可行性,并提出了一种测量超薄的薄膜厚度的具体方案。