AlON/TiAlON_D/TiAlON_M/Cu选择性吸收涂层热稳定性研究

来源 :北京有色金属研究总院 | 被引量 : 4次 | 上传用户:jeanstrouse
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
高温真空集热管是槽式热发电系统的重要部件,而光谱选择性吸收涂层是真空集热管实现光热转换的关键材料,其一般服役环境为高温真空环境。集热管在长期高温服役过程中,管内的导热油介质在高温下发生热分解缓慢释放氢气。氢气渗透进入集热管的真空夹层,导致吸热涂层服役环境为高温氢气环境。选择性吸收涂层在高温下可能发生扩散、氧化、相转变等反应导致光学性能衰减,而高温下氢气也易导致材料的光学、力学性能和结构发生变化。因此研究涂层在高温真空以及氢气环境下的稳定性,对于提高集热管工作可靠性具有重要的意义。本文以AlON/TiAlOND/TiAlONM/Cu选择性吸收涂层为对象,对比研究涂层在高温真空和氢气环境下的热稳定性。制备态涂层吸收率为0.940,发射率为0.08(82℃)。采用吸收率/发射率测试仪、分光光度计、XRD、SEM、TEM、AES口椭偏仪等分析了涂层的光学性能、相结构、微观形貌、成分和光学常数等变化规律,揭示了涂层光学性能的衰减机制,主要结论如下:(1)经500~600℃高温真空退火后,涂层微观形貌与多层膜结构保持稳定,其吸收率随温度升高和保温时间延长而降低,发射率基本稳定不变。涂层吸收率降低的原因与退火温度密切相关。涂层经550℃退火后,其AlON和TiAlONM膜层晶化生成六方AlON和立方TiAlON相;N元素从TiAlON双吸收层扩散至AlON层,O元素从AlON层扩散至TiAlON双吸收层,Ti、Al和Cu元素保持稳定。AlON和TiAlONM膜层晶化导致折射率和消光系数变化,元素扩散导致界面宽化改变了膜层厚度,综合导致涂层最优化结构破坏,吸收率降低。而600℃退火后,吸收率衰减严重,且发生突变。除AlON和TiAlONM膜层晶化和元素扩散外,TiAlOND层也发生晶化,使其光学性能由半导体转变为电介质特性,进一步降低了涂层的吸收率。(2) AlON/TiAlOND/TiAlONM/Cu涂层在450~500℃对氢渗透阻挡作用甚微。高温氢气氛退火后,吸收率随退火温度升高和时间延长而降低,且下降幅度大于真空退火条件。涂层在550℃以下氢气氛退火后,涂层的微观形貌和多层膜结构基本保持完整不变,而在600℃以上退火后,涂层表面出现大面积的裂纹和鼓包,多层膜结构受到破坏。涂层经550℃氢气氛退火后,涂层中的TiAlONM层和AlON膜层晶化,分别生成立方TiAlON和六方AlON相。成分分析表明AlON层中O原子含量因与H发生反应而降低。各膜层中的N、Al、Ti元素含量保持不变。(3) AlON/TiAlOND/TiAlONM/Cu涂层在550℃以下氢气氛中退火后,AlON和TiAlONM膜层晶化及AlON层中氧元素含量降低导致其折射率和消光系数减小是造成涂层吸收率衰减的主要原因。而600℃退火后,TiAlOND和TiAlONM层的折射率和消光系数明显降低,进一步造成涂层吸收率衰减。(4)高温下,氢气与AlON层的反应导致涂层表面粗糙度上升,从而涂层吸收率衰减更严重。在高于600℃退火,溶解在涂层基体Cu中的H原子在降温过程逐渐聚集形成氢泡,造成涂层开裂和鼓起,涂层结构稳定性降低。
其他文献
数据库的法律保护是随着信息化进程的不断加快而逐渐凸显出来的一个十分重要的法律问题。数据库作为一种信息集合体,在现实中有着不同的特征和表现形式。探究其法律保护问题,明
钛酸铅是一种典型的铁电材料,因为它居里点高、介电常数小、机电各向异性大,很适合应用于高温高频领域。但由于其四方矫顽场大,成为陶瓷的晶界能高,使它在退火过程中经过居里点时
发酵床养牛的原理就是利用发酵床专用菌种和粪便秸秆发酵剂,按一定比例混合秸秆、锯末、稻壳粉和粪便(或泥土)进行微生物发酵繁殖而形成微生态发酵床,作为牛圈的垫料。通过发酵床
期刊
美国辩诉交易产生于十九世纪,是指被告人通过有罪答辩,换取控诉方的适当宽恕。检察宫、法官、辩护律师分别在辩诉交易中发挥着不同的作用。目前美国国内对辩诉交易有主存论、主
随着新课程改革的深入发展,我国教育部颁发的《普通高中数学课程标准(实验)》(以下简称《标准》)也对高中数学教学提出了相应的新标准和要求.《标准》对三角函数的学习内容进
滥用税收协定(也称国际税收协定滥用),是跨国纳税人利用国际税收协定的漏洞、特例和缺陷进行避税,是国际避税的一种特殊方式。它所造成的种种消极影响已引起了国际社会的广泛关
云计算下采用三点阵次声源定位方法,在自动识别震前震源次声波过程中不能自动筛选识别大量的异常次声波数据,导致震前监测准确度不高且效率低下。因此提出一种云计算环境下震
<正> 河南省第五届民间音乐舞蹈调演从二月二十七日开始,到三月十一日结束,历时十四天。来自全省各地市的十七个代表队,七百六十七名演员,演出了九台二十二场节目。参加演出
目的:观察脚掌皮下注射第三组代谢型谷氨酸受体(mGluRs)激动剂L-SOP对福尔马林(Formalin)炎性痛大鼠脊髓有丝分裂原激活蛋白激酶p38族(p38MAPK)活化的影响。方法:雄性Wistar
证券是流通化的资本,而作为商中之商的经纪,特别是证券市场的证券经纪,在流通过程中,其流通中介的作用是显而易见的,具体表现在三种运动形式上:价值流、信息流和意识流。价值流体现