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超声波马达,又称超声波电机(Ultrasonic Motor,简称USM)采用在超声波范围内的机械振动作为驱动源,是一种新型的转动驱动器,由于它所表现出来的各种优良特性,如体积小,可以进行静音操作,较好的电磁两立性,低转速时仍然能保持较高扭矩等,被广泛应用与工业以及医疗设备中。但在实际应用中,由于USM的特殊驱动方式,使我们很难得到关于它的较精确的数学模型,同时由于USM的输入与输出的高度非线性,导致对于超声波电机的控制变得十分复杂。本文基于上述超声波电机控制的难题,从理论和实验两个方面,开展了相关