【摘 要】
:
硅基应变材料的生长技术经历了MBE(分子束外延)、UHVCVD(超高真空化学气相淀积)和LPCVD(低压化学气相淀积),目前已发展到适于批量生产的RPCVD(减压化学气相淀积)。但与生长技术密切相
论文部分内容阅读
硅基应变材料的生长技术经历了MBE(分子束外延)、UHVCVD(超高真空化学气相淀积)和LPCVD(低压化学气相淀积),目前已发展到适于批量生产的RPCVD(减压化学气相淀积)。但与生长技术密切相关的生长机理及生长动力学模型的研究远远落后于生长技术的研究,严重影响了硅基应变材料生长技术的发展。本论文的主要工作就是研究SiGe材料的CVD生长机理与生长动力学模型。基于气体的碰撞理论和吸附理论的研究,论文重点研究并建立了硅基应变材料表面生长动力学模型;并进行了硅基应变与弛豫材料的RPCVD生长实验,将生长速率实验值与模型计算值进行了对比,发现低温时精度较高,高温时误差较大。根据上述实验结果以及硅基应变材料CVD生长特性和Grove理论研究,论文又首次提出了硅基应变材料的CVD生长流密度模型,即分立流密度模型;并基于分立流密度模型,对高温下生长速率进行了验证,误差较小。
其他文献
随着社会文明的发展,人们对信息数据的传输要求越来越高,尤其是最近几十年,无线通讯应用越来越受到大家的重视,尤其是对宽带数据传输的需求。而有源器件的谐波和无源器件的寄
从2001年斯坦福大学的William J.Dally和Brian Towles提出片上网络的概念到现在,片上网络由于它巨大的潜力得到了越来越多研究人员的关注,相关技术研究迅速展开并得到迅猛发
军事作家魏巍的名篇《谁是最可爱的人》,可谓家喻户晓,脍炙人口,曾经感动和激励着一代人,但是,很少有人知道,魏巍还曾发表过一首诗──《塞外晚歌》“:如果战友允许/我要寄一
随着MOS器件尺寸的缩小,其过剩噪声日益增加,且过剩噪声主要成分逐渐从热噪声转变为散粒噪声。基于纳米MOSFET输运机制的改变以及热噪声和散粒噪声的物理起源,本文在纳米MOSF
贵州的麻疯树资源分布在南盘江、北盘江和红水河流域的乡镇,呈零星分布,为农家品种,全省现有地径大于3cm的约有1.5万株。现有资源结实量差异较大,一般单株(4~5a生)种子产量在2
利用北京市537位城镇居民调查数据,对中老年人食物消费特征进行分析,研究表明:在食物消费结构方面,中老年人群食物消费偏好更加倾向于植物性食物,占其日均食物消费总量的比重
选择高校实践教学作为微课的设计对象,分析了高校实践教学的现状,教学组织的特点,寻找高校实践教学下的微课特点,提出了基于微课的高校实践教学设计原则、设计思路与设计要点
传统的幼儿园音乐教育活动存在着许多问题,如教育观念陈旧、教学方法单一、教学手段滞后等,妨碍着幼儿音乐素质能力的发展。甘肃省甘南州地处甘肃西南,属经济欠发达地区,甘南
目的:本临床课题通过对比实验组及对照组两组治疗前后血清中白细胞、中性粒细胞、CRP、IL-6、TNF-a水平,评价桃红四物汤在减轻四肢骨折术后炎症反应的价值及临床疗效。方法:通
创业两年,快速切入苹果掌控的"i Beacon"技术领域,从而获得创业先机,并成为估值达1亿美元的公司。这样的创业之路颇具传奇色彩。2013年7月,陈逸非和他的两个伙伴——赵武阳、赵