对于微波等离子体的研究与发展已有多年的历史,近年来的研究和发展使其在技术上相对成熟。微波等离子体技术已经渗透进诸多专业领域中,而且变得越来越重要。作为这项技术的核心,微波功率的输出设备,微波电源的功率和稳定度直接影响等离子体的各项参数,进而影响到产品的加工时间和工艺效果。目前国内的微波电源,稳定度好的功率不够高,功率大的稳定度又不行。所以一套大功率高稳定度微波电源系统的研究与设计就显得尤为重要。本文在综合阅读了各类参考文献,以及相关技术资料的基础上,选择了适合将功率做大的CK-619型磁控管,作为发生微波的核心电力电子器件来进行整个电源系统的设计。整个电源系统的设计包含了对磁场电源、电场电源、灯丝电源、辅助电源以及相关的外围电路的设计。在设计的过程中对各部分电源的电路原理、核心参数计算以及元器件的选型进行了详细的研究和分析。论文先对磁控管的工作原理和常见的微波电源设计方案进行了研究分析,然后提出了一个适合将微波电源功率做大的设计方案,即恒定电压调节电流的方案。磁场电源是设计的重点,在这个部分中,提出了一种对串联稳压电路原理的新的理解,并重新设计了串联稳压电路使其能适应大电流的输出。电场电源部分引入12脉整流的设计提高了电源整体稳定度。如今,微波电源已制作完成,最高功率为10KW,波动不超过100W,稳定可用,达到设计要求。