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衍射光栅是一种精密的光学元件,广泛地应用于各种现代光谱分析、精密测量中。利用金刚石刻划刀在膜层上机械刻划衍射光栅,是一种不可替代的光栅制作方法。因此,开展衍射光栅机械刻划理论及槽形控制技术研究是非常必要的。针对金刚石弧形刻刀刻划衍射光栅的过程,本文建立了等效下压速度模型；根据滑移线场理论,建立了光栅机械刻划过程的刻划深度模型,为铝膜蒸镀及刻刀定位提供理论指导依据。在压痕、划痕试验的基础上,测得铝膜属性,建立了光栅刻划的有限元模型；采用Deform-3D有限元分析软件,对光栅槽形形成过