静电微泵性能模拟的关键基础技术研究

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【摘要】

：

微机电系统(Micro Electro Mechanical System,简称MEMS)是将微传感器、微执行器、控制及信号处理电路集成在一起的一种系统。MEMS将微电子技术和精密机械加工技术相互融合,实现了微电子、IC、机械融为一体的系统。通过对MEMS的建模与仿真研究,可以对从设计到制造的每个环节进行比较和验证,从而优化MEMS器件的设计,检验制造工艺的有效性。本文结合国家自然科学基金

【作者】

：

张万利

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2005年02期

【关键词】

：

微机电系统系统级模拟等效电路器件级模拟静电驱动微泵

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