细胞的分类和计数是生物医学检测依仗的重要手段。近年来,通过微流控芯片进行细胞分类和计数的方法,以其自动、准确、快速的优势迅速得到普及,成为研究热点。其中,微流体聚焦是关键技术之一。本论文设计了新型微流控芯片并进行加工,该芯片能够对细胞进行的流体聚焦,使样品能够进行良好的分类和计数。在各种微通道加工工艺中,本论文选择了成本低、加工难度小的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与薄玻璃键合的方法制作微流控芯片,采用微流控中的流体聚焦技术对细胞样品进行聚焦,聚焦后细胞将会单个成行通过观测区域。微流控芯片采用微电子加工技术中的光刻工艺以及等离子键合工艺制作。首先,利用光刻技术和曝光工艺将AutoCAD所设计的微流控通道图形转移到硅片表面的SU-8光刻胶上,通过显影形成具有一定厚度的微流沟道模型;然后,使用PDMS进行浇注,固化剥离后在PDMS表面形成微流沟道;最后,将薄玻片与PDMS微流沟道一面通过等离子体键合,得到微流控芯片。在早期的芯片测试中发现,仅仅利用传统的方法,使用Y型通道进行流体聚焦,效果并不理想,细胞仍然具有流速不稳定,超越等现象。为此,又设计了不同形状鞘液流通道、交汇口带缓冲结构的微流控芯片,旨在消除流速不稳定。通过多次仿真验证,又提出了一种在两侧鞘液通道加入挡板的Y型聚焦通道,使细胞能够平稳的无超越的通过观测区域。芯片测试发现,改变鞘液流通道的形状、交汇口添加缓冲结构,在一定程度上消除因机械泵偏差引起的交汇口液流不稳定。鞘液通道和样品通道分别在30°、45°和60°夹角的情况下,通过实验观察对比聚焦效果,结果表明:60°夹角聚焦效果最佳。最后测试了鞘液通道带挡板的微流控芯片,随着鞘液流和样品流流速不同,聚焦宽度也不同,当二者比值为3:1时,聚焦宽度可以控制在一个细胞大小。