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硬磁材料又称为永磁材料,因其优异磁学性能成为国防、科技的重要功能材料,其中以NdFeB和FePt两种Fe基硬磁材料发展最为迅猛。FePt合金薄膜由于具有较大K_u值,被广泛应用于高密度磁记录介质,NdFeB稀土硬磁材料由于其大的磁能积被应用于工业马达和电机等领域。本论文主要研究了L1_0-FePt合金薄膜和NdFeB硬磁材料的结构与磁性,得到如下结论:(1)采用磁控溅射法在玻璃衬底上高温沉积制备出FePt-ZrO_2-C薄膜,中间层为ZrN-Xvol.%ZrO_2,改变ZrO_2的掺杂含量,并从薄膜