基于溶胶-凝胶法所制备而成的生物高分子柔性抛光膜在晶圆抛光加工过程中具有高精度、低损伤等优点。但由于金刚石是由共价键结合而成的晶体,它与生物高分子材料结合较差,导致在加工过程中会出现磨料脱落等问题,因此如何提高磨料与基体的界面结合以及如何测量磨料与基体的界面结合强度成为目前所需要解决的关键问题。本文采用了两种界面结合强度的测量表征方法,并基于两种测量方式评价了不同的表面处理方式对于界面结合强度的影响,考虑了添加偶联剂、镀覆金属钛、镀覆金属钛后表面氧化、涂覆羟基氧化铁等表面处理方式的影响,同时研究了磨料粒度对界面结合强度的影响。第一种方法是直接拉拔法,通过粘结剂将金刚石磨料直接从生物高分子基体中拉拔出,测定拉拔时所需要的拉拔力,并测定磨料与基体的接触面积,从而计算得到磨料与基体的界面结合强度。第二种方法是基于抛光膜的拉伸强度来表征磨料与基体的界面结合强度,通过分析可以知道,磨料与基体的界面结合强度变化会直接导致生物高分子基体材料的拉伸强度发生变化,因此本论文尝试使用抛光膜的拉伸强度来直接表征磨料与基体的界面结合强度。通过直接拉拔法对磨料与基体的界面结合强度进行测量,发现随着磨料粒度的增大,界面结合强度会有所降低。在抛光膜的制备过程中添加偶联剂会使界面结合强度有所提升。基于拉伸强度对磨料与基体的界面结合强度进行研究,发现在W40粒度金刚石磨料表面镀覆金属钛后,所制备的抛光膜拉伸强度有所降低,但在镀钛复合磨料表面氧化处理后,所制备的抛光膜拉伸强度又会上升,且高于未处理的金刚石磨料抛光膜。而在W3金刚石磨料表面涂覆FeOOH处理后,所制备出的抛光膜强度与涂覆前不会出现明显的差异。对于W40粒度金刚石同样涂覆FeOOH涂覆处理,发现磨料的表面难以成功进行涂覆。综合红外光谱分析发现,磨料表面所吸附的羟基官能团的数量随着粒度变化以及表面处理后会发生较大的变化,是影响磨料与高分子材料结合的一个重要因素。