硅基液晶芯片（LCOS）是实时光学信息处理,自适应光学和光计算等现代光学领域的关键器件,它在现代光学技术的发展中起着重要的作用。由于LCOS支持Flex-grid特性,已成为实现WSS模块的主流技术方案。基于LCOS芯片的空间光调制器的工作原理是利用液晶的电控双折射效应,它是一种在不改变光束振幅的条件下,实时、动态地对入射光进行相位调制的一-种光调制器件,被广泛应用在光电混合信息处理系统中。与传统液晶显示器相比,LCOS器件具有更高的集成度、光学效率、分辨率等优点,具有更广阔的应用前景。本文以高分辨率反射式硅基液晶芯片为研究对象,研究内容包括硅基液晶芯片的工作原理与结构原理、相位面型测试方案设计、高效准确的相位调制特性测试与优化方案设计、转角的衍射效率的测试方案的设计等。本文的主要研究内容如下:（1）介绍了不同电光效应下硅基液晶的工作原理与工作特性,确定了硅基液晶芯片采用反平行电控双折射工作模式。（2）提出了一个新的指标来判断硅基液晶芯片的质量好坏,设计一种新的测试方案并搭建测试光路测试硅基液晶芯片的相位面型,其相位面型数据不仅成为了一种新的指标去判断硅基液晶芯片质量的好坏,也能暴露出芯片制作过程中出现的问题。（3）硅基液晶芯片的相位调制曲线是其重要的性能指标,本文设计了插损法与四分之一波片法这两种高效、准确、简便的光学测试方案测试硅基液晶芯片的相位调制特性,并与目前普遍使用的干涉法测试硅基液晶芯片的相位调制特性进行对比,结果显示,三种测试方法各有特点、各有优劣。（4）LCOS作为可编程的衍射元件,其各级次的衍射效率对WSS模块的插损和串扰特性有着重要的影响,本文设计了一种新的测试硅基液晶芯片加载转角时的衍射效率的方案,测试结果显示该测试系统能快速有效准确的测试芯片的衍射效率。