原子钟碱金属蒸汽腔制作设备研制与工艺研究

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原子钟是通过原子基态的超精细能级间的跃迁辐射频率来实现精确计时的工具。基于CPT(Coherent Population Trapping)现象的微型原子钟是原子钟微型化发展的必然趋势,而其中的核心芯片碱金属蒸汽腔的微型化制造对原子钟的微型化起着关键性的作用。本论文围绕原子钟的微型化制造进行其关键核心芯片——碱金属蒸汽腔的设计与制作,结合近年来出现的微机电系统(MEMS:Micro-Electro-Mechanical System)技术介绍了适合碱金属蒸汽腔制作的高气密性封装方法,重点
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