本课题属于切削温度测试研究领域,得到了辽宁省自然科学基金(项目编号：20062143)和辽宁省教育厅高校科技计划(项目编号：05L023)的支持。在切削机理研究中,切削温度的测量与控制是切削加工科研和生产中的重要课题。同时它具有变化快,难以实现实时测量等特点。针对这一难题,本文研制出一种多层复合薄膜热电偶切削温度传感器,该传感器集切削、测温于一体,可以快速并精确测量刀具刀尖处的切削温度。论文的主要内容包括：薄膜热电偶切削温度传感器的结构优化设计,直流脉冲磁控溅射方法制备Si02绝缘膜、NiCr/NiSi热电偶薄膜电极、Si3N4切削涂层,测温传感器的静态标定、动态标定和切削试验。其中：SiO：绝缘膜、薄膜电极的制备以及传感器技术特性的研究是本论文工作的重点。与微波ECR等离子体源增强磁控溅射法相比,采用直流磁控溅射法镀制热电偶薄膜的方法可有效降低镀膜周期,节约实验成本。薄膜成分与靶材接近,膜层致密均匀、平整光滑,膜厚为1.266μm。对新研制的NiCr/NiSi薄膜热电偶分别进行了静态和动态标定,得出薄膜热电偶的灵敏度为67.4μV/℃,线性误差不大于0.32%,最小时间常数为0.042ms。其中动态标定采用Ultra-CFR短脉冲激光器作为激励热源,膜层表面吸收激光以获得与薄膜热电偶动态特性相适应的瞬态高温,并以热传导的方式向薄膜内部传递,使热电偶感受到温升并产生电压信号输出。试验结果表明,传感器动态响应能力好,时‘间常数能够达到微秒级。最后采用薄膜热电偶温度传感器进行铝合金切削试验。