全要素生产率是衡量国家经济发展状况和微观企业经营现状的重要方式,表示各种投入要素在生产过程中的平均产出水平。在当前我国供给侧结构性改革的背景下,如何调整经济结构、矫正要素配置扭曲、扩大有效供给,从而提升全要素生产率是我国面临的现实问题。同时,税收政策是政府作用于一国宏观经济发展的重要调节工具,是实现我国经济目标的重要方式和手段,可以使国家干预市场的发展来弥补市场的不足。在当前“质量第一、效率优先”的新发展理念推动下,税收优惠通过引导技术进步来提升全要素生产率变得更为重要,因此本文从研发投入视角研究税收优惠政策对企业全要素生产率的影响机制。本文首先对税收优惠影响企业全要素生产率的相关文献、理论基础等进行梳理,之后从税收优惠对企业全要素生产率的影响和中介效应角度提出相应作用机理和研究假说,最后根据2010-2019年间我国A股上市企业数据,参照税收优惠与全要素生产率的作用机制建立模型,接下来通过实证验证税收优惠和企业全要素生产率的关系,以研发投入视角对其作进一步分析,并基于区域和行业的异质性进行检验。本文通过研究税收优惠、研发投入与企业全要素生产率之间的关系得出结论:（1）税收优惠能够提升企业的全要素生产率,税收优惠每1%的提升,会带来企业全要素生产率增长0.0168%,在研发投入作为中介变量加入回归模型后,中介效应占总效应的比例36.31%,直接效应占比为63.69%;（2）税收优惠每提升1%,研发投入将提升0.0661%,税收优惠可以促进企业进行研发创新活动;（3）税收优惠政策对于中部地区上市企业的作用效果最为明显,依次是东部、西部地区;（4）税收优惠对于高科技类行业的上市企业促进效果最为明显。最后本文提出相关建议:（1）深化减税降费改革使企业减负,促使企业研发创新;（2）调整税收优惠政策以均衡产业、区域的发展;（3）要严格落实政策并简化政策落地。