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MEMS微机械陀螺是用于测量物体相对惯性空间转动角速度的装置。由于其体积小、重量轻、成本低、可靠性高、易集成，在民用和军事领域均有广泛应用。MEMS陀螺的信号读出电路是陀螺系统的重要组成部分，因而读出电路的设计成为近年来研究的热点问题。它将由外界转动角速度引起的MEMS陀螺梳齿微小电容差值信号转化成电压信号。其电路的性能，将直接影响到MEMS陀螺微弱信号的读取和应用。
本论文的研究工作主要设计了一款静电驱动、电容检测的MEMS微机械陀螺信号读出电路芯片，芯片经过流片、测试验证、功能和性能良好。主要成果如下：
1)设计了读出电路的驱动轴电路。分别设计了电荷灵敏放大器、高通滤波器、采样保持电路、低通滤波器、可变增益放大器、移相电路、输出放大器等模块，对驱动轴电路整体前仿，仿真验证了驱动轴信号读出功能。
2)设计了读出电路检测轴电路。分别设计了电荷灵敏放大器、高通滤波器、采样保持电路、低通滤波器、输出放大器等模块，对检测轴电路整体前仿，实现了检测轴信号读出功能。
3)完成电路版图设计并进行了流片，芯片测试结果显示驱动轴开环信号读取功能正常，并且可以实现驱动轴稳幅自激振荡。检测轴信号读取功能正常，并且线性度良好。