【摘 要】
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论文简要介绍了电子显微镜等电子光学仪器、电子光学像差理论发展的背景及讨论了旋转对称电子光学九级像差的重要意义.按照电子光这像差理论中的光程函数法,首先推导出旋转对
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论文简要介绍了电子显微镜等电子光学仪器、电子光学像差理论发展的背景及讨论了旋转对称电子光学九级像差的重要意义.按照电子光这像差理论中的光程函数法,首先推导出旋转对称电子光学系统中十级变分函数以及十级光程函数,进而得到旋转对称电子光学系统的九级几何像差公式.其次根据几何像差分类方法,把九级几何像差分作十类.由于球差是影响电子光学系统分辨本领最重要的因素之一,所以主要讨论了作为电镜系统部件的磁透镜情况下的九级球差,并计算出九级球差系数在不同磁透镜参数下的数值.最后对论文所得的结果作了进一步的讨论.
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