基于MEMS工艺的麦克风以微尺寸、抗干扰、耐热等优点得到了广泛的应用,巨大的市场需求使MEMS麦克风的生产亟待需要批量化自动生产,而国内MEMS麦克风制造中的贴片工艺大部分依靠操作者在显微镜下完成,效率低下,可靠性差,成为大批量生产的瓶颈。因此,研究高速高精度的自动化贴片系统对MEMS麦克风的批量制造有重大意义。本文首先分析了MEMS贴片工艺流程,针对贴片工艺分析了贴片系统的功能模块及组成,结合贴片系统的技术要求,确定了视觉系统应具有的功能,从而设计并建立了MEMS自动贴片的视觉系统。最后对视觉定位原理进行分析,为高精度定位提供理论依据。针对高速贴片的要求,将飞行视觉技术引入到视觉系统中。对目前典型的飞行视觉方案进行技术分析后,提出一种基于旋转式反射镜的飞行视觉方案,并通过飞行视觉成功采集了芯片图像。基于梯度评价函数对图像清晰度进行评价后得到的结果证明该方案是可行的。针对贴片的高速高精度要求,对视觉系统中的图像处理算法进行了研究。通过改进Canny算法,成功实现了自适应的Canny边缘检测；基于粗-细结合的思想,使用Hough变换算法实现了芯片的快速检测；采用了一种改进的快速Hough圆检测算法,并将该算法和最小二乘圆(LSC)算法结合达到亚像素的检测精度；针对质量检测的快速要求,提出了基于复合投影的快速匹配算法；并对上述算法进行了实验分析,实验结果满足贴片的高速高精度要求。最后编写了贴片系统的控制软件,对视觉系统的定位和质量检测进行了实验分析,结果满足了贴片的技术要求。最终进行了综合实验,实现了自动化贴片,对MEMS麦克风的自动批量化作业起到了积极的推动作用。