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针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3、ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反滤光片。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3～5μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究；并且对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化；解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体,可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化；光谱分析和环境测试的结果表明,各项指标满足使用要求。