本文分别采用广谱型气敏材料SnO₂和ZnO作为基体材料,制成传统的旁热式厚膜元件,通过掺杂贵金属得到选择性的甲醛敏感元件。在以SnO₂为基的甲醛敏感元件的研制中,研究表明Sn（OH）₄掺杂贵金属650℃烧结一个小时制得的元件的气敏性好于以SnO₂掺杂贵金属烧结而成的元件。筛选AgNO3、H₂PtCl₆、PdCl₂、HAuCl₄和RhCl₃等作为贵金属掺杂剂,通过比较它们的灵敏度以及对元件表面温度的测量最终确定掺杂0.2wt% RhCl3的为最优配方,其最佳工作电流为90mA。实验结果显示,掺杂RhCl30.2wt%元件对甲醛的选择性良好,在气体体积分数为5×10-6甲醛浓度时灵敏度可以达到3,同时该元件对氯仿、乙醇和甲苯等干扰气体的选择性表现一般;响应恢复时间均为60秒以内。在以ZnO为基的甲醛敏感元件的研制中,采用化学共沉淀法制备了ZnO材料,并通过对合成的样品进行XRD、SEM表征,分析其相结构、颗粒度和表面形貌。然后选取了TiO₂作为掺杂剂,并由实验确定其掺杂量。为了继续改善元件性能,选取RuO₂、PdCL2和RhCL3继续进行掺杂,通过气敏特性的测量,比较实验结果显示掺杂10wt%TiO₂及0.4wt%RuO₂元件在150mA的最佳工作电流下对甲醛的灵敏度大于甲苯、丙酮等干扰气体,选择性良好,响应恢复特性良好,响应时间为7s,恢复时间在10s左右。