由于衍射原理的限制,传统的光学透镜的分辨率不能突破二分之一入射光波波长,传统的干涉光刻也同样受衍射极限的限制,线宽的分辨率为λ/4。表面等离子体模式的局域特性正好可以被利用来突破光的衍射极限问题。本论文利用表面等离子体波的超衍射特性,开展了突破衍射极限的超分辨干涉光刻仿真研究,包括超分辨光学成像。论文工作主要包括:　　 1.设计了具有滤波特性的介质.金属多层膜结构器件,该器件能够有效选择掩模的特定级次的衍射光透射,在光刻胶内进行表面等离子体干涉,完成超分辨干涉光刻。利用时域有限差分法,理论上获得了p偏振的193nm光源照明情况下光刻线宽低于22nm、甚至16nm(λ/2)节点的表面等离子体干涉图样。这种制作图形的分辨率极限不受入射光波长限制的光刻。　　 2.设计一种实现深亚波长光刻图形的金属光栅异质波导结构,理论模拟了深亚波长(～λ/17)线宽图形。这种光刻技术不仅具有分辨率优势,也能实现高质量的干涉图形,而且无需复杂和昂贵的实验设备,对促进纳米科技发展、微电子及半导体制造具有一定的实用价值。　　 3.首次提出非匹配超透镜结构并用之实现宽波段的超分辨成像与光刻。通过合适选择金属与其周围介质的厚度,弥补由于金属与周围介质介电常数不匹配对成像质量造成的影响。非匹配超透镜在材料选择上有明显的优势,并且能够在较宽波段内实现超分辨成像光刻。利用这种方法可以更加灵活的根据实验条件开展超分辨成像与光刻实验研究。研究了利用非匹配超透镜的倏逝波增强莫尔效应。