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氧化物导电薄膜锰酸锶镧(La1-xSrxMnO3，LSM)、钴酸锶镧(La1-xSrxCoO3，LSC)作为铁电薄膜钛酸锶钡(BST)电容器、传感器等的电极材料或缓冲层成为研究热点，广泛应用于微电子学和光电子学。本文采用溶胶—凝胶法在Si(100)基底上制备LSM、LSC导电薄膜，研究了溶胶的性能、组成(La/Sr比)、热处理工艺对导电薄膜性能的影响，并将LSM、LSC薄膜作为BST薄膜的电极材料或缓冲层，研究LSM、LSC薄膜对BST薄膜结构及介电性能的影响。
采用溶胶—凝胶法制备了LSM，研究组成对LSM薄膜性能的影响，结果发现随着Sr含量的增大， LSM的电阻率呈现先减小后增大的趋势，当Sr掺量在0.5时LSM的电阻率达到最小为4.2×10-2Ω·cm。进一步研究La0.5Sr0.5MnO3溶胶中H2O、乙醇/乙酸比对La0.5Sr0.5MnO3薄膜的电阻率影响，结果表明H2O的用量与薄膜电阻率成正比，乙醇/乙酸比与薄膜电阻率成反比，在保证能得到澄清透明溶胶的前提下，当H2O的用量为0ml，乙醇/乙酸比为4：1时，La0.5Sr0.5MnO3薄膜的电阻率最小为3.8×10-2Ω·cm。采用正交实验法研究了预处理温度及退火温度对La0.5Sr0.5MnO3薄膜电阻率的影响规律，结果表明在预处理温度为300℃，退火温度为800℃，时间为600s时得到的La0.5Sr0.5MnO3薄膜电阻率最小，为1.2×10-2Ω·cm。
采用溶胶—凝胶法制备了LSC，研究组成及热处理工艺对LSC薄膜性能的影响规律，结果表明在La/Sr比为1时， LSC的电阻率达到最小，为1.32×10-2Ω·cm。La0.5Sr0.5CoO3的最佳退火温度为750℃，此时得到的La0.5Sr0.5CoO3薄膜的电阻率为1.1×10-3Ω·cm。La0.5Sr0.5CoO3薄膜结晶良好，具有明显的钙钛矿结构，晶粒大小均匀无裂纹空洞等缺陷。
沉积在La0.5Sr0.5MnO3、La0.5Sr0.5CoO3电极上的Ba1-xSrxTiO3薄膜，在x=0．5时，即Ba0.5Sr0.5TiO3具有最大的介电常数，最低的介质损耗。为钙钛矿结构，结晶良好，无空洞裂纹等缺陷。且比沉积在Pt上的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜具有更高的介电常数、更低的介电损耗。其中沉积在La0.5Sr0.5CoO3电极上的BST薄膜具有最大的介电常数和最小的介电损耗。