基于旋转电极的DBD图像灰度分布的暂态过程研究

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大气压下介质阻挡放电(DBD)在薄膜沉积、杀菌消毒、废水处理、材料表面改性等领域有着很好的工业应用价值。产生大气压均匀放电是前沿的研究课题,特别是工业应用尺度上得到均匀放电的方法。本文研制了一种介质阻挡放电装置—旋转电极介质阻挡放电装置,实现了比静止电极时均匀的放电。实验发现平板电极在静止或者旋转时,放电图像及其灰度分布均存在暂态过程,随着时间的发展,放电从初始态的不规则的分布发展到稳态的空间较均匀放电,对应的灰度分布的变异系数减小。电极旋转是一个重要的改善条件,可加快暂态过程的发展,使之相比于静止时较快过渡到稳态,且对应的标准差,变异系数下降,最终趋于一个稳定的值,均匀性得到很大的改善。随着电极转速、外加电压和频率的增大,对应的灰度分布的变异系数减小,放电的均匀性得到了提高。分析了暂态过程,发现空间残留物(包括空间电荷),壁电荷的相对运动对旋转电极DBD有较大影响。实验还发现了旋转电极DBD图像灰度分布在径向上是不均匀的。电极旋转可改善放电图像径向分布的均匀性,随着径向上向外沿的发展,放电图像灰度分布的标准差,变异系数下降。在转速增大到一定值(4000rpm)时,径向分布趋于对称,一致。空间均匀性相比于静止时,得到了较好的改善。随着外加电压和频率的增大,对应的径向分布的灰度分布的变异系数减小,放电的均匀性得到了改善。通过研究旋转电极DBD的暂态过程,提出了实现空间分布均匀放电的条件是:电极转速达到4000rpm或其以上、高外加电压、高频的条件下到达稳态。
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