实现精细操作的微动机器人正受到人们的日益关注,并将具有广阔的应用前景和巨大的发展潜力,为此设计分析满足特定要求的新型微动机器人机构就显得尤为重要。本文在分析了柔性机器人机构与并联机构的关系以及柔性铰链的特性基础上,结合特定的微动机器人平面运动要求,设计了3-RPR柔性并联机构并对其进行了分析,具体内容如下:1.分析选取了3-RPR并联机构作为原型,通过柔性铰链替换法设计出了一种新型的3-RPR柔性并联机构,并建立了这种机构的Pro/E三维模型。2.利用微机器人运动学分析理论对3-RPR柔性并联机构的微位移进行了分析。重点讨论了机构在微动特性下的运动学特性和微位移的分析方法,建立可近似反映机构输入输出关系的常值Jacobian矩阵,并利用伪刚体模型理论与闭环理论建立3-RPR柔性机构的运动正解方程,为后续的进一步研究提供了理论基础和依据。3.在研究典型铰链刚度的基础上,研究了柔性机构的静刚度理论模型,得出了柔性机构静刚度矩阵与柔度矩阵之间的关系公式,并在三维模型的基础上建立有限元模型,对3-RPR机构进行有限元分析,从而验证该机构的运动特性满足本课题的要求,求得机构各节点的微位移,利用机构动平台节点的微位移及对柔性机构施加的力约束求得机构的柔度矩阵,进一步求得机构的静刚度矩阵。4.分析了柔性机构误差的主要来源,并对3-RPR机构的精度进行分析。