近十几年来，薄膜磁学的研究取得了巨大的进展。当然实验上薄膜制备技术的不断成熟和相关理论的并行发展为其发展和繁荣提供了先决条件。分子束外延技术制备的薄膜样品对于我们更好的研究低维金属磁性提供了广阔的空间。本论文利用分子束外延技术针对Fe-Pd合金体系的结构与磁性等问题展开了研究，得到以下结果。 研究了超薄FexPdl-x、Au(100)及FexPdl-x/GaAs(001)体系的结构及其磁学性质。 发现对于Fe-Pd/Au(100)合金体系，随着Fe，Pd组分的变化分别呈现出bccFexPdl-x(x≥0.75)和非常好的单晶fcc结构的FexPdl1-x(x≤0.5)合金。 在GaAs(001)表面外延FexPd1-x合金，得到bct单晶结构的FexPd1-x合金(x≥0.75)，而随着Pd比例的不断增大，得到FexPd1-x(x≤0.5)合金均为多晶。 利用ROTMOKE进行磁性测量发现单晶结构的FexPd1-x合金始终表现为铁磁性，并且定量的给出了不同衬底上外延的FexPd1-x合金样品的各向异性场的大小和方向随不同组分和厚度的变化关系，利用PPMS之VSM测量出Fe-Pd合金的平均原子磁矩，给出了平均原子有效磁矩的大小随Fe、Pd组分的变化趋势。