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ZnS薄膜广泛应用于各种光电器件。ZnS是一种很好的电致发光照明材料,商业上用来制作电致发光显示器,也用于薄膜异质结太阳能电池中作n型窗口层。ZnS薄膜的生长方法有化学浴沉积、热蒸发、电子束蒸发、溅射、喷雾热解以及最近发展起来的脉冲激光沉积。这种材料在太阳能电池中需求量很大,急需一种低成本的生长技术以降低最终产品的价格成本。因此,能在低温条件下低成本地大面积沉积优质半导体薄膜的化学浴沉积法成为较合适的技术之一。本文是教育部高等学校博士点学科专项基金资助项目“宽带隙II-VI半导体纳米薄膜材