Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3介质薄膜生长及Mn掺杂效应研究

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Ba(Zr_xTi_(1-x))O_3 (BZT),为Zr部分B位取代BaTiO_3(BTO)中的Ti而形成的一种BTO基钙钛矿材料。由于Zr~(4+)比Ti~(4+)化学稳定性更好,Zr~(4+)取代Ti~(4+)之后将会抑制Ti~(4+)与Ti~(3+)之间的电子跃迁,从而减小了薄膜的漏电流。因此BZT在具有较高的介电可调的同时可以保持低的介电损耗,这使得BZT得到了广泛的研究。本论文选择BZT中介电性能较好的Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3,通过脉冲激光沉积设备,在氧化物衬底以及
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