【摘 要】
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微小电容检测技术是自动测试技术中的一项重要课题.该文采用基于充放电法的检测技术对微小电容进行检测,这种方法具有抗寄生电容干扰测量、精度高等特点.论文首先对充放电法
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微小电容检测技术是自动测试技术中的一项重要课题.该文采用基于充放电法的检测技术对微小电容进行检测,这种方法具有抗寄生电容干扰测量、精度高等特点.论文首先对充放电法测电容的技术理论上进行了分析,得出此种方法在理论上的可行性.然后对课题中设计的微小电容检测系统从硬件和软件两个方面进行了详细分析,叙述了该系统的具体功能.最后通过标定试验和误差分析,验证了该微小电容检测系统具有良好的测试性能,达到了课题提出的技术指标,同时也分析了该系统存在误差的原因和有待解决的问题.
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