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在该论文实验工作中,研究人员采用射频磁控溅射法,以两种方式成功地制备了Fe-Al-N纳米晶薄膜:一种方式是在溅射过程中固定基板架,使溅射所得薄膜即为结晶态;另一 种方式是在溅射过程中让基板架以合适的速度旋转,这样溅射所得薄膜呈非晶态,然后通过势处理.实现从非晶东膜到纳米晶薄膜的转化.研究人员系统地研究了薄膜结构和磁性能对于不同的靶成份、氮分压以及热处理温度的变化,并对这些变化特征做了详尽的描述和解释.