Fe<,2>O<,3>薄膜在还原性气体下的气敏光学透射特性的研究

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【摘要】

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郑顺镟等人首先发现了二氧化锡薄膜的气敏光学效应,此后研究了不同掺杂以及混合物的二氧化锡薄膜的气敏光学反射和透射光谱.氧化铁是一种重要的半导体气敏材料,该文在前人研

【作者】

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欧阳锋

【机构】

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中山大学

【出处】

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中山大学

【发表日期】

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1997年期

【关键词】

：

薄膜气敏光学半导体气敏材料

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郑顺镟等人首先发现了二氧化锡薄膜的气敏光学效应,此后研究了不同掺杂以及混合物的二氧化锡薄膜的气敏光学反射和透射光谱.氧化铁是一种重要的半导体气敏材料,该文在前人研究二氧化锡及其掺杂薄膜的气敏光学特性的基础上,对尚未被深入研究过的氧化铁薄膜的气敏光学特性进行研究.利用溶胶凝胶法制备了均匀透明的Fe<,2>O<,3>

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