基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试

被引量 : 10次 | 上传用户：youqing_2009

【摘要】

：

MEMS加速度微开关作为一种集传感器及执行器于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。根据加速度开关工作原理,建立了静电控制加速度微开关模型。基于微开关模型,设计了一种具有显著阈值特性的加速度微开关,并建立了静电力、阻尼力、惯性力、弹性力及Casimir力等多力耦合作用下的开关动力学模型。开关结构主要由悬臂梁弹性元件和其支撑的惯性质量块构成。采用COMSOL M

【作者】

：

郝亚锋

【机构】

：

西安电子科技大学

【发表日期】

：

2011年01期

【关键词】

：

微开关压膜阻尼多力耦合动态特性阀值

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