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TiO2薄膜电极是染料敏化太阳能电池的重要组成部分。制备工艺简便,成本低廉,与基体结合牢固的TiO2薄膜电极有利于推动染料敏化太阳能电池的实际应用进程。本论文采用微等离子体氧化法在钛表面原位生长与基体结合力好和大面积的TiO2薄膜电极。研究了电解液体系、电流密度、电压、电解质浓度、反应时间和敏化工艺对的TiO2薄膜光电性能的影响。通过优化工艺参数实现了TiO2薄膜电极的原位生长。以（NH4）2SO4为电解液体系,当电流密度为14A/dm2、电压为245V、电解质浓度为0.5mol/L、反应时间为10min,敏化温度为25℃,染料浓度为0.2mmol/L时,所得TiO2薄膜电极的光电性能较好,开路电压、短路电流、填充因子和光电转换效率分别为652mV、149μA/cm2、0.39和0.095%。研究了N、S和Nd单独掺杂及N与Nd复合掺杂对原位生长TiO2薄膜电极光电性能的影响。结果表明,N、S、Nd单独掺杂和N与Nd复合掺杂均可显著提高原位生长TiO2薄膜电极光电性能,其中单独掺杂TiO2薄膜电极的光电性能优于复合掺杂,N掺杂TiO2薄膜电极的光电性能最好,开路电压、短路电流、填充因子和光电转换效率分别达到了701mV、165μA/cm2、0.42和0.121%。利用SEM、XRD、XPS、UV-vis DRS和EIS等分析手段,对掺杂前后所得TiO2薄膜电极表面形貌、晶胞参数、晶粒大小、吸收光谱及内部阻抗进行了分析。研究结果表明,所得薄膜是由金红石型TiO2为主晶相,同时含有少量的Ti组成,并且表面存在大量分布均匀的微孔。掺杂使TiO2的晶胞体积发生膨胀,晶粒尺寸、禁带宽度和内部阻抗减小。其中Nd掺杂使TiO2薄膜禁带宽度减小程度最大,而N掺杂使内部阻抗减小程度最大。通过研究原位生长TiO2薄膜电极的光诱导电子反应和光电子界面动力学行为发现,原位生长TiO2薄膜电极能够发生光诱导电子转移,实现光生电子的快速注入,并且较小的TiO2晶粒尺寸和内部阻抗能够减少光生电子在界面处的湮没。利用第一性原理计算了N和Nd掺杂前后原位生长TiO2薄膜电极的能带结构,计算结果表明掺杂后的TiO2能带结构中产生了杂质能级,使其禁带宽度变小,计算结果与实验值符合较好,这进一步证明掺杂改性可以调节原位生长TiO2薄膜电极的能带结构,进而提高其光电性能。探讨了原位生长掺杂TiO2薄膜电极的光电转换行为,发现晶粒尺寸、内部阻抗和禁带宽度对原位生长TiO2薄膜电极光电性能的影响是三者共同作用的结果,三者之间的良好匹配能够得到较高光电性能的原位生长TiO2薄膜电极。