传统能源的日益枯竭及其带来的环境污染催生了新能源技术的发展。太阳能技术的快速发展，也迫切要求太阳能电池生产装备的创新开发。设计全自动、高效的通过式扩散炉对推动我国硅太阳能电池全自动扩散装备产业的发展具有重要现实意义。本文基于上海市科委“节能减排技术开发与应用”项目《高效晶硅电池PN结制程工艺及全自动装备研制》，结合目前太阳能电池扩散装备的发展趋势，对太阳能电池片扩散工艺进行分析，设计一台连续式通过式扩散装备，并对装备的各项性能进行实验验证，为提升太阳能电池片的整体均匀性提供技术支持。首先，进行太阳能电池扩散理论研究，包括扩散基础理论、影响扩散的因素、连续通过式扩散方法。着重对连续通过式扩散机理进行分析，建立数学模型和设定相关边界条件，并进行数值仿真，验证连续通过式扩散的均匀性。其次，根据连续通过式扩散工作原理设计了通过式扩散炉的总体结构，并且对其行舟系统，炉门系统，气路系统，温控系统和上位机界面进行设计。最后，对通过式扩散炉样机进行各项性能的实验，验证了通过式扩散炉样机的各项性能均能达到连续通过式扩散的要求和生产要求。根据试生产得到的样片方块电阻数据可知，试生产出的样片均匀性有明显提高。验证了连续通过式扩散方法的可行性，为扩散工艺的优化提供装备支撑。本文设计的通过式扩散炉已完成试生产，进入优化和推广应用阶段。