【摘 要】
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金属微细尺度(Meso/Micro)结构与零件(如微齿轮、微轴、微栅电极等)是微机械(MEMS)、电子产品、精密仪器仪表等高新技术产品的重要组成部分。微细电铸是制造上述产品的主要实现技术之一,但微细电铸过程常常存在严重的传质受限现象,从而引发多种沉积缺陷。破解传质受限是微细电铸技术亟待解决的棘手难题之一。磁场力驱动对流效应在物质传输方面具有高效、非接触、易控、不受空间尺度限制等优点,利用磁流体力学
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金属微细尺度(Meso/Micro)结构与零件(如微齿轮、微轴、微栅电极等)是微机械(MEMS)、电子产品、精密仪器仪表等高新技术产品的重要组成部分。微细电铸是制造上述产品的主要实现技术之一,但微细电铸过程常常存在严重的传质受限现象,从而引发多种沉积缺陷。破解传质受限是微细电铸技术亟待解决的棘手难题之一。磁场力驱动对流效应在物质传输方面具有高效、非接触、易控、不受空间尺度限制等优点,利用磁流体力学(MHD)效应解决微细电铸尤其是高深宽比微结构(HARMS)电沉积过程中的传质受限问题是一个开创性的思路
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