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本文基于微电子工艺和电化学阳极氧化方法给出一种硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器,该结构由硅基衬底、多孔氧化铝膜和电极构成。基于感湿机理和吸附-解吸附机理,该传感器可以实现对湿度的检测。在此基础上,采用COMSOL仿真软件分别构建具有平板电极结构和叉指电极结构的湿度传感器仿真模型并进行仿真分析。本文利用直流电源(IT6874A)、低温恒温反应浴(DFY-5/10℃)和计算机等装置搭建的电化学阳极氧化系统,采用电化学阳极氧化方法制备纳米多孔氧化铝(NP-AAO)薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM S-3400N)对NP-AAO薄膜的微结构进行形貌分析,研究影响薄膜微结构的因素,例如氧化电压、草酸溶液浓度和氧化时间等,从而分析影响传感器感湿特性的因素。最后设计出叉指电极掩膜版,基于微电子工艺在多孔氧化铝膜表面上制作出叉指电极,完成传感器的制作。在室温条件下,本文利用阻抗分析仪(LCR-TH2819A)、饱和盐溶液和计算机等仪器搭建的传感器测试系统,分别对硅基纳米多孔氧化铝传感器特性进行实验研究,并对影响传感器特性的因素进行讨论分析。通过对传感器样品HS1进行实验测试,结果表明,在室温25℃条件下,当电源频率为1KHz,电压为1.0V时,传感器的灵敏度为70.4pF/%RH,其响应时间和恢复时间分别约为6s和3s。并分析外加磁场、电极、频率和不同氧化条件对传感器感湿特性的影响。该传感器以单晶硅为衬底,纳米多孔氧化铝为湿敏材料,能够实现对环境湿度的测量。