硅基氧化铝相关论文
本文基于微电子工艺和电化学阳极氧化方法给出一种硅基纳米多孔氧化铝湿度传感器,该结构由硅基衬底、多孔氧化铝膜和电极构成。基......
本文报道用自组织法在硅片上制备纳米多孔氧化铝列阵的技术。在P型〈100〉晶向,电阻率为0.5Ω·cm的清洁硅片上,用电子束蒸发一层400nm厚的99.99%高纯......