DC-CVD法制备大面积超纳米金刚石膜

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【摘要】

：

超纳米金刚石(Ultra-nanocrystalline diamond,UNCD)是一种晶粒尺寸小于20nm的新型纳米金刚石材料,具有极其光滑的表面、极低的表面摩擦系数、物理化学性能与微米金刚石接近等优异性能,在机械加工、海洋动密封,微机电系统、场发射、光学窗口、电化学、声学、生物医学等领域具有广泛的应用前景。采用直流辉光放电等离子体化学气相沉积(Direct Current Glow Disc

【作者】

：

游志恒

【机构】

：

武汉工程大学

【发表日期】

：

2016年05期

【关键词】

：

直流辉光放电化学气相沉积 UNCD 大面积

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