【摘 要】
:
本文主要研究内容是基于电射流打印的光刻工艺研究及实验分析,通过将光刻技术与电射流打印技术结合,解决了光刻技术目前存在的成本高,制作工艺复杂,需制备多个掩模板等问题。本文的主要工作与创新点如下所示:本文首先结合当前光刻技术与电射流打印技术的研究现状提出了光刻技术存在的问题,从电射流打印技术的机理出发,对于射流进行受力分析了解各个分力之间的平衡关系,定性分析各个参数对于打印效果的影响。对射流的流场方程
论文部分内容阅读
本文主要研究内容是基于电射流打印的光刻工艺研究及实验分析,通过将光刻技术与电射流打印技术结合,解决了光刻技术目前存在的成本高,制作工艺复杂,需制备多个掩模板等问题。本文的主要工作与创新点如下所示:本文首先结合当前光刻技术与电射流打印技术的研究现状提出了光刻技术存在的问题,从电射流打印技术的机理出发,对于射流进行受力分析了解各个分力之间的平衡关系,定性分析各个参数对于打印效果的影响。对射流的流场方程与电场方程进行分析,推导出适合本文的电流体动力方程,找到适合本文的启动电压预测公式。使用COMSOL Multiphysics建立电射流打印的二维模型,将电场与流场耦合设定参数,使电场力转变为流场中的体积力,设置边界条件,初始条件,计算步长,计算时间等。从微观角度观察了泰勒锥表面的电荷聚集情况与内部的速度场分布,与相应理论进行验证。分别研究打印高度,入口流量,加载电压与流体粘度四个不同参数对于锥射流打印模式与泰勒锥形成的影响,为实验部分提供了参考。购置并组装试验台;对于光刻胶溶液性质进行测量;设计调整打印参数;验证启动电位并对于锥射流打印模式进行捕捉等。对于34g喷针进行分组实验,探究电压与打印高度对于打印线宽的影响,推导出相应的经验公式,得出打印高度对于线宽的影响图像呈现“抛物线状”,在适当的范围内,线宽随着电压的增加而减小,对于电射流打印光刻胶奠定了基础。利用“电容器”理论,解释了实验中利用不同打印基底得出不同打印效果的现象,提供理论支撑;将电射流打印机理与瑞利不稳定性结合,合理解释了带点小液滴破裂的实质。对于四种不同口径的喷针进行了分组实验,得出喷针口径越小,电射流打印线宽越小的结论。最终在打印高度为480微米,打印电压为1600v时,使用34g喷针打印出了平均线宽为22.76微米,最细线宽为9.7微米的光刻胶线条。
其他文献
海虹老人涂料(烟台)有限公司国家(建筑涂装工)职业技能培训基地2016年3月16日揭牌,并举办了首批学员开学典礼,25名学员将接受为期2天的技能和实操培训及考评。近年来,中国建筑装饰装
从环保部获悉,我国将在今年底前,核发包括造纸、印染在内的十个涉水行业的排污许可证,建成全国排污许可证管理信息平台。到2020年,我国将基本完成排污许可证的核发。排污许可证也
介绍了青藏铁路隧道、桥梁桩基成孔、路基机械设备配置的原则、配套方案以及机械化施工在"地球第三极"显示出的巨大威力.
目的:考察芥子碱对高钾除极和谷氨酸引起细胞外钙内流以及咖啡因和环匹阿尼酸(cyclopiazonic acid,CPA)引起细胞内钙释放所导致的PC12细胞内游离钙升高的影响。方法:PC12细胞用终
马克思失业理论是马克思主义政治经济学的重要组成部分。尽管马克思在生前并没有专门论述失业问题的著作,但是在马克思的《资本论》等许多重要作品中都有论述资本主义社会失
<正>北京中泽永诚会计师事务所成立于2004年2月,经过14年的发展,已由单一的会计师事务所业务发展为具有资产评估、工程造价咨询、工程项目管理等业务的综合型专业服务机构。
伴随着信息技术的发展,企业的信息化程度不断提高,业务也依赖于信息化的建设程度也越来越高。ITIL(Information Technology Infrastructure Library,信息技术基础架构库)做为
减负给小学生争取了更多的闲暇时间,但通过实证调查和访谈发现,小学生在闲暇活动的内容、闲暇时间的分配及闲暇时间的认识等方面还存在一定的问题。因此,要开发并利用各种社会资
【正】 二、从个别特殊出发,又使个别更为鲜明、完整的典型化方法从沙汀作品的写作意图和创作过程看,他的作品的艺术构思是在怎样的创作思想指导之下进行的?构思过程有一些什
伴随着航运技术以及人民生活水平的发展,船舶的海上航行变得越来越重要,为了确保船舶的安全、降低发生事故的概率,对船舶跟踪提出了更高的要求。传统的跟踪算法在非线性非高