【摘 要】
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随着半导体产业的发展,微机电系统作为其中的重要组成部分,越来越受到人们的重视。微机电系统因其集成了电学、光学、化学、力学、生物学等多种特性,具有器件体积小、产品功能丰富、应用领域广泛等特点。我国作为半导体消费大国,对于微机电系统器件的需求也非常迫切,研究和制作微机电系统对于我国经济发展和人民生活水平提高有着重要的意义。本论文针对微机电系统的制作工艺,以硅基光学微机电期间作为切入点,通过对LED模块
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随着半导体产业的发展,微机电系统作为其中的重要组成部分,越来越受到人们的重视。微机电系统因其集成了电学、光学、化学、力学、生物学等多种特性,具有器件体积小、产品功能丰富、应用领域广泛等特点。我国作为半导体消费大国,对于微机电系统器件的需求也非常迫切,研究和制作微机电系统对于我国经济发展和人民生活水平提高有着重要的意义。本论文针对微机电系统的制作工艺,以硅基光学微机电期间作为切入点,通过对LED模块反射腔器件的工艺整合和优化,研究了微机电系统的工艺流程特点,并制定了合理的工艺路线。利用现有8英寸集成电
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现代社会,人们对健康方面的需求日益增长。可穿戴电子设备在健康监测、及时诊疗等医疗方面的应用越来越广泛,压力传感器作为可穿戴电子设备的重要组成部分,逐渐成为电子器件研究的热点。近年来,国内外对于柔性压力传感器的研究已经颇具成果,但是目前柔性压力传感器仍然存在无法兼顾高灵敏度和宽测量量程的问题。合理的设计器件结构以及选择压敏材料可以在测量量程比较大的情况下尽可能的提升灵敏度性能。本课题通过聚多巴胺(P
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有机薄膜电容器作为一种具有超高功率密度的储能器件,相较于其他各类电容器具有易加工、性能稳定以及抗循环老化等优势,越来越广泛地应用于新能源汽车、航空航天、新概念武器等领域。但是,随着电子电力系统小型化、轻型化的发展趋势,工程应用也对储能薄膜电容器提出了更高的要求,如高储能密度、高击穿场强以及低介电损耗等。目前,双向拉伸聚丙烯(BOPP)应用最为广泛,但是其储能密度较低难以满足越来越高的发展需求。为了
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狄拉克半金属材料的高迁移率、高电导率、零带隙、高吸收率等优秀的性能使得它在新一代光电探测器的研制过程中占有重要的地位。作为一种典型的三维狄拉克半金属材料,Cd_3As_2具有超高的载流子迁移率(～10~5)、高的宽光谱吸收率(30%-50%)、快速电子传输速度和高光电流响应等性质,为制造高性能光电探测器提供了一个很好的平台。本文对以Cd_3As_2薄膜为基础材料的光电探测器的性能进行研究,并通过掺
聚(3,4乙撑二氧噻吩)(PEDOT)是一种具有共轭Π键的导电高分子聚合物,作为聚噻吩的衍生物,其主链是由交替的单键-双键共轭键结构成,属于本征型导电高分子材料。PEDOT因其良好电导率(>100S/cm)、高可见光透明性(>80%)、环境稳定性好、容易成膜等优点,已成功应用在抗静电涂层、透明超级电容器、有机太阳能电池、热电发电机等诸多领域。本文围绕PEDOT基膜层的制备及其红外发射性能展开研究,
随着工业4.0的提出和技术的革新,传统的制造业面临着巨大的变革,生产制造系统面临更精密、智能、信息集成化等挑战,而传统的制造业目前主要操作手段仍然是以人工为主,这无疑带来很多问题。本课题主要以活门零件的主活塞和导向盘为研究对象,设计了一套基于机器视觉的轴孔类零件选配系统,旨在解决两种零件在人工选配过程中的测量精度、选配效率、零件积压浪费等问题。根据实际工况分析,本课题设计了针对于主活塞和导向盘的选
水锤问题严重威胁着液压管路的正常运行,为了抑制管路中的水锤压力,保障管路的正常运行,对于不同情况下的水锤发生问题,各种各样的水锤抑制方法被不断提出。本文重点研究关阀水锤中的间接水锤,旨在通过一定的阀门关闭规律来抑制液压管路中的最大水锤压力,从而减小水锤压力对管路造成的破坏。具体来说,本文主要针对以下方面进行了研究:(1)对基于阀门关闭规律的水锤抑制方法的现状进行了分析研究,提出了在阀门关闭时间不固
光电探测器具有优异的光电探测能力,被广泛用于各个领域,如:图像传感、健康监测、仿生视觉、环境监测、光通讯等。目前占据大部分市场份额的是无机光电探测器,无机光电探测器制备工艺成熟、器件性能稳定,但在实际使用过程中,探测波段单一、不具备柔性、成本昂贵等约束,极大地限制了无机光电探测器的应用。有机光电探测器将先进有机材料领域的研究与光电方向结合,具有探测波段可调控、制造成本低、质量轻、良好的柔性、易于大